用于滿足某種工藝要求,能夠獲得并測(cè)量有特定要求真空度的系統(tǒng)稱真空系統(tǒng)。一個(gè)較完善的真空系統(tǒng)由真空室、所需的真空泵或真空機(jī)組、真空測(cè)量裝置、連接導(dǎo)管、真空閥門(mén)、捕集器、及其它真空元件及電氣控制系統(tǒng)構(gòu)成。典型的真空系統(tǒng)如圖1及圖2所示。

1. 真空室放氣閥2. 電離真空規(guī)3. 熱偶真空規(guī)4. 流量調(diào)節(jié)閥5. 高真空閥6. 擴(kuò)散泵7. 儲(chǔ)氣罐8. 熱偶規(guī)管( 測(cè)擴(kuò)散泵前級(jí)壓力) 9. 前級(jí)真空閥10. 壓力傳感器11. 預(yù)抽閥12. 羅茨真空泵13. 旁通閥14. 電磁放氣閥15. 機(jī)械真空泵

圖1 典型真空系統(tǒng)原理圖

1. 真空室2. 電離真空規(guī)3. 熱偶真空規(guī)4. 放氣閥5. 高真空閥6. 冷阱7. 擴(kuò)散泵8. 前級(jí)真空閥9. 電磁放氣閥10. 機(jī)械真空泵11. 預(yù)抽閥

圖2 典型真空系統(tǒng)原理圖

        真空系統(tǒng)按其工作壓力進(jìn)行分類(lèi),可分為:1)粗真空系統(tǒng)(工作壓力大于1330Pa);2)低中真空系統(tǒng)(工作壓力在1330~0.13Pa);3)高真空系統(tǒng)(工作壓力在0.13~1.3×10-6Pa);4)超高真空系統(tǒng)(工作壓力在1.3×10-6～1.3×10-10Pa) ;5)極高真空系統(tǒng)(工作壓力低于1.3×10-10Pa) 。

       按真空系統(tǒng)所要求的清潔程度可分為:1)有油真空系統(tǒng)(真空室有油蒸汽污染);2)無(wú)油真空系統(tǒng)(真空室無(wú)油蒸汽污染)。