真空系統(tǒng)的主要參數(shù)選擇與計(jì)算

2013-04-29 巴德純 東北大學(xué)

1、真空室(容器)的極限壓力

真空室(容器)的極限壓力

  pj-—真空室所能達(dá)到的極限壓力

  p0—真空泵的極限真空度

  Q0—空載時(shí),長(zhǎng)期抽氣后真空室的氣體負(fù)荷(包括漏氣、材料表面出氣等)

  Sp—真空室出氣口附近泵的有效抽速

  在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí),漏氣量主要由真空室的極限真空和工作壓力來確定。一般選取低于工作狀態(tài)下氣體負(fù)荷(工藝生產(chǎn)中放出的氣體量)的十分之一。

真空裝置允許漏量

真空裝置允許漏量

2、真空室的工作壓力

真空室的工作壓力

  Pg—真空室工作壓力

  Q1—工藝生產(chǎn)過程中真空室的氣體負(fù)荷

  從經(jīng)濟(jì)方面考慮,最好在主泵的最大抽速和最大排氣量附近選擇工作壓力。一般工作壓力選擇在高于極限壓力一個(gè)數(shù)量級(jí)。各泵最佳工作范圍請(qǐng)見:各種真空泵的工作范圍一文。

3、真空室抽氣口處泵的有效抽速

真空室抽氣口處泵的有效抽速

真空室抽氣口處泵的有效抽速

  Sp—真空泵的抽速

  U—管道流導(dǎo)

  S—真空室抽氣口處的有效抽速

  當(dāng)Sp為定值時(shí),真空系統(tǒng)的有效抽速隨管道流導(dǎo)變化,如下圖。

真空系統(tǒng)的有效抽速隨管道流導(dǎo)變化