超高真空比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)的指標(biāo)測(cè)試與模擬校準(zhǔn)
超高真空系統(tǒng)極限真空度的測(cè)試
動(dòng)態(tài)法超高真空比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)裝置開機(jī)工作正常后，首先對(duì)校準(zhǔn)裝置進(jìn)行烘烤除氣，從室溫開始加熱，以30 ℃/h 升溫，10 h 后超高真空系統(tǒng)的烘烤溫度升為300 ℃；打開NEG 泵角閥，激活NEG 泵（激活溫度為500 ℃，激活時(shí)間2 h），然后關(guān)閉NEG 泵角閥。在300 ℃的溫度下維持8 h 后，以30 ℃/h 的速率降溫，10 h 后降到室溫；打開NEG 泵角閥對(duì)校準(zhǔn)容器抽氣，校準(zhǔn)裝置的真空度穩(wěn)定后測(cè)得極限真空度為4.9×10-9 Pa。
超高真空系統(tǒng)校準(zhǔn)范圍的測(cè)試
用超高真空微調(diào)閥（15）調(diào)節(jié)穩(wěn)壓室中的壓力，注入到校準(zhǔn)室中，每個(gè)量程選擇3個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)，觀測(cè)微調(diào)閥是否能夠調(diào)出所要求校準(zhǔn)范圍的壓力點(diǎn)。壓力點(diǎn)的讀數(shù)采用經(jīng)校準(zhǔn)過的IE514 型分離規(guī)，數(shù)據(jù)見表1。
表1 校準(zhǔn)范圍調(diào)節(jié)讀數(shù)表
從數(shù)據(jù)可以看出，能夠滿足校準(zhǔn)范圍的調(diào)節(jié)，超高真空微調(diào)閥的行程和均勻性都非常好，可在校準(zhǔn)范圍內(nèi)調(diào)節(jié)所需的任一壓力校準(zhǔn)點(diǎn)。
合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度的評(píng)定
參考規(guī)選用IE514 型分離規(guī)，經(jīng)超高/極高真空校準(zhǔn)裝置校準(zhǔn)的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為2.5%。本底引入的不確定度為1.8%，統(tǒng)計(jì)不確定度為0.54%，則合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為3.2%，擴(kuò)展不確定度9.6%（k=3）。
模擬校準(zhǔn)
在動(dòng)態(tài)法超高真空比對(duì)校準(zhǔn)系統(tǒng)上，用分離規(guī)作參考標(biāo)準(zhǔn)對(duì)超高熱陰極電離真空計(jì)進(jìn)行比對(duì)模擬校準(zhǔn)，主要驗(yàn)證微調(diào)閥的行程和穩(wěn)定性，以及是否能夠滿足實(shí)際的超高真空規(guī)的校準(zhǔn)。具體在每個(gè)量程按3 個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)進(jìn)行校準(zhǔn)，共校準(zhǔn)3 個(gè)量程9 個(gè)點(diǎn)，完全能夠覆蓋該裝置的校準(zhǔn)范圍，校準(zhǔn)數(shù)據(jù)見表2。
表2 模擬校準(zhǔn)數(shù)據(jù)
超高真空相對(duì)比對(duì)校準(zhǔn)裝置，可以用于超高真空規(guī)的動(dòng)態(tài)直接比對(duì)校準(zhǔn)，結(jié)束過去用線性外推法進(jìn)行超高真空規(guī)的校準(zhǔn)，能夠確保國(guó)防科技工業(yè)在超高真空區(qū)域真空量值的傳遞和統(tǒng)一。
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