如何設(shè)計含灰塵抽氣系統(tǒng)的真空泵配置

2009-10-10 張以忱東北大學(xué)

　　在抽氣過程中，塵埃飛揚主要發(fā)生在剛開始抽除大氣的高壓力范圍內(nèi)，為此我們可以從真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和操作方面采取措施防止和減少塵埃的產(chǎn)生。

　　從抽氣機組泵的配置考慮，目前能夠抽大氣的大抽速真空泵主要有往復(fù)泵、水環(huán)泵、旋片泵和滑閥泵，其中能直接在塵埃條件下工作的只有水環(huán)泵，因此在有塵埃系統(tǒng)中用水環(huán)泵預(yù)抽大氣是比較好的方法。真空機組的配置可以是: 水環(huán)泵+羅茨泵+滑閥泵，其結(jié)構(gòu)簡圖如圖32（a）所示。在多機組的應(yīng)用場合，甚至可以考慮共用一臺大抽速水環(huán)泵。

水環(huán)泵機組（a）用水環(huán)泵起動抽除大氣

　　從操作來說，在抽大氣時適當(dāng)減小系統(tǒng)抽有利于防止塵埃的飛揚，例如圖32（b）所示的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，在被抽空間與泵之間設(shè)置可調(diào)閥門或可調(diào)孔板等以限制抽速。控制起始抽速，隨著系統(tǒng)壓力的下降，逐步打開閥門或孔板以增加抽速，這種方法簡便有效。但降低起始抽速會延長抽氣時間，可根據(jù)被抽容器的容積、真空泵的抽速及起始抽速下降的程度，一般會延長數(shù)分至數(shù)十分鐘。在對抽氣時間略有延長可以允許的應(yīng)用場合，這是一種較好的操作方法。