直線推動(dòng)驅(qū)動(dòng)器主要由外筒、真空法蘭、移動(dòng)法蘭、波紋管、推動(dòng)桿、驅(qū)動(dòng)軸等組成。外筒內(nèi)部的波紋管分別和真空法蘭以及移動(dòng)法蘭焊接，實(shí)現(xiàn)伸縮和真空密封。移動(dòng)法蘭的兩端分別與驅(qū)動(dòng)軸和推動(dòng)桿連接。操縱推動(dòng)桿，則驅(qū)動(dòng)軸可在真空中直線移動(dòng)。

　　真空法蘭內(nèi)側(cè)設(shè)置準(zhǔn)直部件，確保驅(qū)動(dòng)軸不會(huì)擺動(dòng)。外筒開有長條孔，固定在移動(dòng)法蘭外壁上的指針沿著長條孔移動(dòng)，達(dá)到指示驅(qū)動(dòng)軸移動(dòng)位置的目的。外筒側(cè)壁設(shè)置固定螺絲，可將推動(dòng)桿固定在任意位置。

　　直線推動(dòng)驅(qū)動(dòng)器中和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼和無氧銅材料，可耐高溫烘烤，適合在超高真空系統(tǒng)中的使用。

　　直線推動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的示意圖參照?qǐng)D1。

圖1 直線推動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的示意圖