超高真空直線驅(qū)動(dòng)器的直線驅(qū)動(dòng)和真空密封同樣靠波紋管來實(shí)現(xiàn)(圖1)。波紋管的兩端分別和移動(dòng)法蘭與真空法蘭焊接。移動(dòng)法蘭在真空一側(cè)和驅(qū)動(dòng)軸連接，另一側(cè)設(shè)計(jì)成螺紋構(gòu)造。移動(dòng)法蘭和把手之間的螺紋構(gòu)造相匹配，旋轉(zhuǎn)把手，則波紋管作直線運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸的直線運(yùn)動(dòng)。真空法蘭內(nèi)部安裝直線軸承，可實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)軸的運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)直性。直線驅(qū)動(dòng)器的外筒上帶有刻度，通過把手的位置可知驅(qū)動(dòng)軸的行程。

圖1 直線驅(qū)動(dòng)器的示意圖

　　直線驅(qū)動(dòng)器精度高，重復(fù)性強(qiáng)，可和直流或步進(jìn)電機(jī)組合，實(shí)現(xiàn)電控操作。