我們的工程部、生產(chǎn)部及組裝測(cè)試部，可根據(jù)您的特殊需求，專業(yè)訂制真空室及其附設(shè)的子系統(tǒng)。我們?yōu)镠V或UHV應(yīng)用所設(shè)計(jì)及制造的各種真空腔室，包括為R&D設(shè)計(jì)的小型球型真空室，和工業(yè)量產(chǎn)鍍膜設(shè)備所需的長(zhǎng)達(dá)14英尺以上的大型盒型真空室，可滿足各種需求。

另外，任何客戶訂制的真空室都可通過(guò)工程設(shè)計(jì)，與其他適當(dāng)?shù)恼婵战M件組合，成為一套功能完整的系統(tǒng)零部件設(shè)備。

真空室結(jié)構(gòu)與材質(zhì)配制 (Construction & Materials)
多種結(jié)構(gòu)型態(tài)：球型、盒狀、圓柱型及鐘罩狀，可由各種不銹鋼材質(zhì) (304, 304L, 316, 316L) 或鋁材質(zhì)所制。所有材質(zhì)是經(jīng)過(guò)特別選擇的，可達(dá)到低磁滲透性的要求。

加工能力 (Machining Capabilities)
我們使用業(yè)界知名公司(例如Mazak和Kuraki等公司)的最尖端的CNC加工中心。所有的加工中心都使用有利于真空的無(wú)硫冷卻劑，以降低腔室表面放氣。

檢測(cè)及清潔處理 (Inspection & Cleaning)
我們一般使用精密的CMM檢測(cè)臂去檢查加工完畢的真空室的加工公差，而當(dāng)使用我們的六軸CNC加工中心來(lái)制造大型的產(chǎn)品時(shí)，則采用在線檢測(cè)探針進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)。所有接縫處、焊接處及法蘭連接處都要通過(guò)嚴(yán)格的觀察檢驗(yàn)及氦檢漏測(cè)試，以達(dá)到真空完整性。

我們有一套嚴(yán)格的真空腔室清洗設(shè)備及程序，清洗完成后，我們用高溫爐將其烘干；另外，我們也可以根據(jù)客戶的要求，進(jìn)行特定的清洗程序。

真空室的配制系統(tǒng) (Chamber Sub-Assemblies)
為配合客戶特珠的應(yīng)用需求，我們可以為客戶訂制的真空室配置所需的其他真空部件，以構(gòu)成一套完整的真空配制系統(tǒng)。

通常為真空室配備的組件包括：

• 支撐的框架——是由碳素鋼或擠壓鋁所制。多種不同結(jié)構(gòu)的機(jī)柜及開(kāi)放隔間可供選擇。
• 泵組合——任意高真空泵(渦輪分子泵、低溫泵或油擴(kuò)散泵)，可同時(shí)配備相應(yīng)的初級(jí)泵。
• 閥門(mén)及真空計(jì)組合——手動(dòng)控制及全自動(dòng)電腦控制，兩種組合可選。
• 真空鎖（Load Lock）組合——即樣品預(yù)真空室組合，包括真空鎖腔室、樣品傳送裝置、渦輪分子泵及進(jìn)氣閥門(mén)等。

另外，我們也為一些小型實(shí)驗(yàn)室及大學(xué)等研發(fā)用戶提供標(biāo)準(zhǔn)的經(jīng)濟(jì)的鐘罩型真空室子系統(tǒng)。這種已核可的零部件包括：玻璃或金屬結(jié)構(gòu)的鐘罩腔室、腔室基座、連接各種穿通密封件（Feedthrough）用的環(huán)型腔室、機(jī)柜式支撐框架（可配備鐘罩室升降的動(dòng)力裝置），及配套的真空泵組合。