現(xiàn)今我們生活中的許多劃時(shí)代的產(chǎn)品都離不開半導(dǎo)體技術(shù)。如果沒有真空技術(shù)，許多具有開拓性的發(fā)明諸如晶體管、集成電路是不可能成為現(xiàn)實(shí)的。這些半導(dǎo)體芯片被用于生產(chǎn)電腦、手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、MP3、DVD播放機(jī)、平板顯示器、閃存、汽車控件和家用電器。許多此類的產(chǎn)品只能在潔凈的真空環(huán)境下進(jìn)行生產(chǎn)。憑借著豐富的產(chǎn)品組合，普發(fā)真空為半導(dǎo)體技術(shù)提供完整的解決方案。使用為半導(dǎo)體fab量身設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，普發(fā)真空提供著令人映像深刻的一站式解決方案。

　　普發(fā)真空半導(dǎo)體fab完整的解決方案

　　我們的產(chǎn)品可用于fab中4個(gè)不同的樓層。最上一層的潔凈室包括產(chǎn)品生產(chǎn)和特殊的處理系統(tǒng)如APA 302和APR 4300。它們可以進(jìn)行高質(zhì)量的污染物處理。ASM 380檢漏儀提供工廠技術(shù)人員進(jìn)行日常管路的巡檢和確保生產(chǎn)質(zhì)量。此外，渦輪分子泵和DigiLine真空計(jì)則同PrismaPlus質(zhì)譜儀一同安裝在機(jī)臺(tái)內(nèi)。集成的A 100 L ES 干泵提供真空給預(yù)載室或傳送腔。它可以安裝在靠近腔體處，也可以是集成在系統(tǒng)中或者安裝在下一層fab中。

　　系統(tǒng)的冷卻設(shè)備、供電和射頻發(fā)生器被安裝在更下面一層。最低下一層則是真空干泵和減排系統(tǒng)。

Fab Model

　　普發(fā)真空的產(chǎn)品的眾多應(yīng)用

　　所有的硅晶片的生產(chǎn)工藝階段都在fab內(nèi)進(jìn)行：比如刻蝕、檢測、鍍膜、雕刻工藝和離子注入。晶片生產(chǎn)廠商本身、零配件和包裝則有特定的生產(chǎn)區(qū)域。

　　來自于普發(fā)真空的解決方案廣泛的使用在諸如這類的fab工廠里，為半導(dǎo)體領(lǐng)域的精密生產(chǎn)和獨(dú)立的設(shè)計(jì)制造提供了整體的解決方案。

　　普發(fā)真空提供渦輪分子泵、前級(jí)泵、真空泵組、檢漏儀、真空計(jì)在如下的具體工藝中：

　　1、真空鍍膜

　　2、CVD工藝

　　3、刻蝕

　　4、離子注入和雕刻工藝

　　5、真空傳送

　　6、晶盤轉(zhuǎn)送

　　7、電子顯微鏡(SEM and SLM)