有了量度真空度的單位，就可以定量地表示真空度的高低。但是，目前真空技術(shù)所涉及的壓力范圍已寬達(dá)20個(gè)數(shù)量級(jí)，為了使用方便，有時(shí)只需要粗略指出真空度的大致范圍，通常定性地把真空粗略劃分幾個(gè)區(qū)域。劃分區(qū)域的依據(jù)主要考慮真空狀態(tài)下氣體分子運(yùn)動(dòng)的物理特性、真空泵和真空計(jì)的有效工作范圍等。

　　我國(guó)關(guān)于真空區(qū)域的劃分，《真空技術(shù)名詞術(shù)語(yǔ)(GB3163-1982)》中規(guī)定如下：

　　真空理論工作者推薦的真空區(qū)域劃分如下：

　　粗真空、低真空和高真空是依氣體分子平均自由程與容器特征尺寸d相比的值來(lái)劃分的。真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.mp99x.cn/)認(rèn)為主要考慮：是氣體分子之間的相互碰撞還是氣體分子與器壁的相互碰撞對(duì)所出現(xiàn)的物理現(xiàn)象起決定性作用。

　　將高真空和超高真空的界限定為10^-6 Pa，主要是考慮真空物理吸附機(jī)制只有在壓力 p<10^-6 Pa時(shí)才開(kāi)始明顯，才可由擴(kuò)散泵抽氣獲得，由B-A計(jì)進(jìn)行壓力測(cè)量。至于超高真空與極高真空的劃分界限在10^-12 Pa，是因?yàn)閜<10^-12 Pa時(shí)，出現(xiàn)統(tǒng)計(jì)漲落(大于5×10^-2 )。

　　上述的真空區(qū)域劃分，各區(qū)域均表示一個(gè)壓力范圍，原因是目前仍以壓力表示真空度。但是，在低真空、高真空、超高真空和極高真空中，真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.mp99x.cn/)認(rèn)為所說(shuō)的壓力是有著本質(zhì)差別的，壓力只是其他量的相對(duì)指示。

　　各個(gè)區(qū)域的真空物理特性、所用的真空泵和真空計(jì)詳見(jiàn)表。國(guó)外關(guān)于真空區(qū)域劃分也不一致，隨著真空技術(shù)的發(fā)展，真空區(qū)域劃分亦有變化。

表 真空區(qū)間物理特點(diǎn)和典型真空泵、真空計(jì)