按真空計測量原理分類，可以分成直接測量真空計和間接測量真空計。

　　直接測量真空計系直接測量單位面積上的力，屬于這類真空計的有：

　　1、靜態(tài)液位真空計

　　利用U型管兩端液面差來測量壓力。

　　2、彈性元件真空計

　　利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。

　　壓力為10^-1 Pa時，作用在1cm²表面上的力只有10^-5 N，顯然測量這樣小的力是困難的，但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。

　　屬于間接測量真空計的有：

　　1、壓縮式真空計

　　其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增大，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關(guān)系計算被測壓力。

　　2、熱傳導(dǎo)真空計

　　利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

　　3、熱輻射真空計

　　利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)的原理。

　　4、電離真空計

　　利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨壓力變化的原理。如熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

　　5、放電管指示器

　　利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。

　　6、粘滯真空計

　　利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

　　7、場致顯微儀

　　以吸附和解吸時間與壓力的關(guān)系計算壓力。

　　8、分壓力真空計

　　利用質(zhì)譜技術(shù)進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜計等。