1、測量壓力范圍寬，為10⁵～10^-14 Pa。

　　2、大部分真空計是間接測量，只有壓力為10⁵～10Pa時，可直接測單位面積所受的力。但大多數(shù)真空測量的壓力比上述要小，不能直接測量，應(yīng)利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導(dǎo)、粘滯性和電離等)進行間接測量。

　　3、多采用非電量電測技術(shù)。由于非電量電測技術(shù)具有靈敏度高、反應(yīng)迅速、可實現(xiàn)自動和遠距離測量，因此，大部分真空計采用這一方法。電子式真空計是由真空測量規(guī)管和電子測量電路(控制和指示單元)兩部分組成。規(guī)管是敏感元件，它利用氣體在低壓下的某些特性將非電量的氣體壓力轉(zhuǎn)變成電信號，再由測量電路將規(guī)管輸出的電信號進行放大和顯示。必要時，將輸出信號送至自動記錄儀和自動控制設(shè)備中，實現(xiàn)真空設(shè)備自動化。規(guī)管將非電量壓力轉(zhuǎn)變成電量所需的條件，由測量電路的控制單元提供。

　　4、部分真空計的讀數(shù)與氣體種類和成分有關(guān)。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分，否則會造成很大誤差。

　　5、測量精度不高。在間接測量壓力過程中，往往需要外加能量來協(xié)助。外加能量可能是熱能、電能、機械能和放射能等。這樣，在引入外加能量的同時，也不可避免地引進了測量誤差。因此，真空測量儀表的精度比其他物理測量儀表要低。如真空測量基準儀表和標準儀表的不確定度為(2～ 10)×10^-2，工作儀表的測量誤差在±20×10^-2以內(nèi)就很好了。