磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計的特點(diǎn)

2016-03-09 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  1、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計與壓縮式真空計同屬于標(biāo)準(zhǔn)真空計,但其量程較寬(10-1~10-5 Pa)。用它做互校傳遞標(biāo)準(zhǔn)計,累積誤差小、可靠性和重復(fù)性好。

  2、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計是無源器件,其規(guī)管內(nèi)部沒有高速電子和離子,沒有熱絲,不存在熱及輻射效應(yīng)。

  3、轉(zhuǎn)子規(guī)管體積小,吸氣和放氣現(xiàn)象完全可以忽略,不會影響被測空間的氣體成分和壓力,特別適用于不允許規(guī)管與氣相彼此作用的場合。

  4、磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計每測量一個點(diǎn)必須間隔半分鐘,所以只能用于壓力變化緩慢的真空室或密閉空間。

  5、測量精度主要取決于轉(zhuǎn)速ω的測量精度和溫度T的恒定,因此測量時務(wù)必維持T恒定和采用較高精度的測速技術(shù)及儀表。