已知混合氣體成分真空度的測(cè)量

2016-03-12 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  用熱傳導(dǎo)真空計(jì)對(duì)混合氣體的真空系統(tǒng)測(cè)試時(shí),如果知道混合氣體中各種氣體的體積百分?jǐn)?shù)Vi(i=1、2、3、…、n),就可用下式計(jì)算出混合氣體對(duì)空氣的相對(duì)靈敏度S,即

已知混合氣體成分真空度的測(cè)量

  式中:Vi———第i種氣體的體積百分?jǐn)?shù);

  Sri———第i種氣體的相對(duì)靈敏度。

已知混合氣體成分真空度的測(cè)量

  在計(jì)算出Sr后,用上述方法測(cè)得的結(jié)果乘以Sr,便得到混合氣體的實(shí)際真空度。