真空規(guī)比對標準裝置期間核查方法
真空規(guī)比對標準裝置是采用動態(tài)或靜態(tài)直接比對法校準真空計，是一臺操作方便、使用效率高的真空標準裝置。對真空規(guī)比對標準裝置采用比對法進行期間核查。
比對法有2 種情況，一種是2 臺設備技術指標相同，另一種是2 臺設備技術指標不相同，其中技術指標低的為被核查設備。
1、技術指標相同
2 臺技術指標相同的測量標準進行比對，比對結果差值為y-y0，應滿足式（3）
2、技術指標不同
2臺技術指標不同的測量標準進行比對，比對結果差值為y-y0，應滿足式（4）
式中U0 為技術指標高的測量標準的擴展不確定度；uc0 為技術指標高的測量標準的合成標準不確定度
選用靜態(tài)膨脹法真空標準裝置對真空規(guī)比對標準裝置進行期間核查，這2 臺標準技術指標不相同，其中真空規(guī)比對標準裝置的技術指標低。
分別用靜態(tài)膨脹法真空標準裝置和真空規(guī)比對標準裝置對同一臺美國MKS 公司生產的1.33 kPa 電容薄膜真空計校準，校準數(shù)據(jù)見表4、表5。
表4 靜態(tài)膨脹法真空標準裝置校準數(shù)據(jù)
表5 真空規(guī)比對標準裝置校準數(shù)據(jù)
表4 中，用靜態(tài)膨脹法真空標準裝置校準電容薄膜真空計的平均修正因子為1.003；表5 中，用真空規(guī)比對標準裝置校準的修正因子為0.998。根據(jù)式（4）計算得到二者的偏差為0.8%。
靜態(tài)膨脹法真空標準裝置的擴展不確定度U 為0.8%，真空規(guī)比對標準裝置的擴展不確定度為3.4%，根據(jù)式（4）計算得
二者的偏差為0.8%，小于3.5%，則真空規(guī)比對標準裝置技術狀態(tài)正常。
相關文章閱讀：
