便攜式真空校準裝置

盧耀文¹ 陳旭¹ 李得天² 齊京¹ 查良鎮(zhèn)¹

(1.清華大學，北京 100084; 2.蘭州物理研究所，甘肅 蘭州730000)

　　摘 要：為了解決許多應用領域對真空計的校準需求，研制出便攜式真空校準裝置。采用直徑為200mm 的球形容器作為校準室，用兩臺不同量程的電容薄膜規(guī)作為參考標準，將靜態(tài)比對法、靜態(tài)膨脹法及動態(tài)流導法集成在一臺裝置上，實現(xiàn)1×10⁵～4×10-6 Pa 范圍對真空計的校準。

　　靜態(tài)比對法的校準范圍為1×10⁵～5×10^-1 Pa ，合成標準不確定度為1.3%;靜態(tài)膨脹法的校準范圍為5×10^-1～5×10^-3 Pa，合成標準不確定度為1.5%;動態(tài)流導法采用兩個不同流導小孔衰減壓力實現(xiàn)的校準范圍為5×10^-3～4×10^-6 Pa，合成標準不確定度為3.7%～4.7%。

　　裝置的外形尺寸為長×寬×高=450×400×750mm,總重量小于40 公斤，具有體積小、重量輕、成本低、便攜等優(yōu)點。

　　關鍵詞：真空計;計量;校準;便攜式