質(zhì)譜測量
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動態(tài)流導(dǎo)法校準真空計的方法
動態(tài)流導(dǎo)法有時也稱為動態(tài)流量法和小孔法校準,其校準下限隨真空獲得和小流量測量水平而延伸。是目前超高真空和極高真空的切實可行的校準方法。
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靜態(tài)膨脹校準低真空計方法
膨脹法校準是基于波意耳定律,即在恒定的溫度下,一定質(zhì)量的氣體的壓力與體積之積為一常數(shù)。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準氣體,由標準真空計G2測量。
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質(zhì)譜計的分類與主要性能參數(shù)
質(zhì)譜計根據(jù)質(zhì)量分析系統(tǒng)的工作原理可分為磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計、飛行時間質(zhì)譜計、射頻質(zhì)譜計、諧振感應(yīng)質(zhì)譜計和四極質(zhì)譜計等。
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反映真空質(zhì)量——分壓力測量
為了測量真空中混合氣體組分和相應(yīng)的分壓力值,必須進行分壓力測量,所用的儀器稱為分壓力真空計,分壓力真空計是專用的小型質(zhì)譜儀器——真空質(zhì)譜計。
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一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的研制
本文介紹了一種用于四極桿質(zhì)譜儀的真空測量與控制系統(tǒng),詳細闡述了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)硬件電路及軟件設(shè)計等。
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一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的軟件設(shè)計
一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的軟件控制主要包括兩個方面:一個是高真空規(guī)即潘寧規(guī)的自動開啟與關(guān)斷;另一個是儀器單元之間的級聯(lián)控制。
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一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖
四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)主要由ARM 微控制器、ADC 采集電路、CAN 通訊接口、HM-TRP 無線收發(fā)模塊、上位機和真空規(guī)組成。
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四極質(zhì)譜儀在電子誘導(dǎo)脫附實驗中的應(yīng)用
在ESD 實驗中,四極質(zhì)譜儀可以分析電子誘導(dǎo)脫附后殘余氣體成分:H2、H2O、CO、CO2 和少量的碳氫化合物。
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基于四極質(zhì)譜儀航天器單點檢漏應(yīng)用研究
為了研究四極質(zhì)譜儀在航天器單點檢漏應(yīng)用中的可行性,本文對航天器單點模型和單點檢漏過程進行分析,并通過試驗對四極質(zhì)譜儀在航天器單點檢漏進行驗證。
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四極桿質(zhì)譜儀中啟用二次電子倍增器 (SEM)優(yōu)缺點
使用四極桿質(zhì)譜儀測量真空腔體內(nèi)的殘余氣體成份時,如果要測量極其小的離子電流或需要極其高的測量速度,則使用物理前置放大器,即所謂的二次電子倍增器。
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空間小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計的研制
小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計經(jīng)歷3 年多實現(xiàn)了從原理樣機、驗證件產(chǎn)品以及正樣產(chǎn)品的研制工作,并于2012 年年底在實驗衛(wèi)星上實現(xiàn)了搭載飛行,迄今為止已實現(xiàn)在空飛行測試近兩年。
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小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計離子源設(shè)計與驗證
本文介紹了用于小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計 的離子源結(jié)構(gòu)和供配電關(guān)系設(shè)計。同時還對離子源內(nèi)電場分布、離子運動軌跡進行了仿真分析,并通過質(zhì)譜計整機測試和試驗間接驗證了離子源設(shè)計。
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電真空器件烘烤排氣過程中殘余氣體質(zhì)譜分析
本文在真空排氣臺上安裝四極質(zhì)譜儀,通過烘烤排氣過程中器件內(nèi)出氣過程的質(zhì)譜分析,對陰極及管內(nèi)材料出氣過程及成分研究和評價。
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