小孔流導(dǎo)法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置
小孔流導(dǎo)法質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置如圖3所示。校準(zhǔn)壓力P可由已知流導(dǎo)C和通過(guò)流導(dǎo)C的氣體流量的測(cè)量值Q計(jì)算得到。
這里R為小孔高壓和低壓端對(duì)應(yīng)的壓力P和P1之比, 即R=P/P1, 壓力比也可以用小孔的流導(dǎo)和泵的抽速S表示為: R=[1+S/C]。校準(zhǔn)裝置中的限流孔是一個(gè)面積為A 的圓形小孔, 圓形小孔的分子流導(dǎo)可用較小的不確定度來(lái)計(jì)算, 在一級(jí)近似條件下, 圓形小孔的分子流導(dǎo)為
T為氣體溫度(K),M 為氣體分子量,A為小孔面積(cm2)。流導(dǎo)的精確值可表示為
其中K是一個(gè)修正因子。對(duì)于直徑為1cm的薄壁圓形小孔,在室溫下, 對(duì)N2的分子流導(dǎo)約為9.4 L/s。與前面描述的直接比對(duì)法和壓力衰減法校準(zhǔn)裝置相比,小孔流導(dǎo)法校準(zhǔn)裝置需要知道小孔的流導(dǎo)和測(cè)量流量,因此對(duì)結(jié)構(gòu)和操作要求都較高。
1.分壓力質(zhì)譜計(jì) 2.校準(zhǔn)室 3, 6, 7, 11, 14.隔斷閥 4.參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī) 5.流量標(biāo)準(zhǔn) 8.流量計(jì) 9.微調(diào)閥 10.氣源 12.氣體引入系統(tǒng) 13.機(jī)械泵 15.熱傳導(dǎo)規(guī) 16.分子泵 17.放氣閥
圖3 小孔流導(dǎo)法校準(zhǔn)裝置原理圖
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