德國的PTB 研制出了基于中紅外激光吸收光譜法的分壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)，利用氣體分子發(fā)出的光譜強(qiáng)度來測量混合氣體分壓力的大小，質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)工作原理如圖4 所示。

圖4 德國PTB 建立的質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)原理圖

　　1.激光控制器　2.單色器　3.出光裝置　4.斬波器　5.HERRIOTT 腔　6.干涉儀距離測量裝置　7.鏡片移動(dòng)裝置　8.粗抽機(jī)械泵　9.渦輪分子泵　10.隔斷閥　11.一氧化碳?xì)馄俊?2.氮?dú)鈿馄俊?3.濺射離子泵　14.電容薄膜規(guī)　15.磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)　16.電離規(guī)　17.四極質(zhì)譜計(jì)　18.溫度計(jì)　19.光敏感器　20.工控機(jī)

　　這套系統(tǒng)的校準(zhǔn)方法是，由激光系統(tǒng)產(chǎn)生的激光通過濾波器和一組反射鏡進(jìn)入校準(zhǔn)室，激光和校準(zhǔn)室中的氣體分子相互作用，生成干涉光譜，再從校準(zhǔn)室中引出到信息接收與處理系統(tǒng)，在校準(zhǔn)室中總壓力已知的條件下，便可以通過計(jì)算得到混合氣體中各個(gè)氣體成分的分壓力。這種方法的優(yōu)點(diǎn)在于測量過程中不會(huì)產(chǎn)生額外的雜質(zhì)分子，從而避免了測量過程中產(chǎn)生雜質(zhì)對(duì)原有殘余氣體成分測量的影響，具有無干擾的特點(diǎn)，適合于精度要求比較高，而且殘余氣體成分已知情況下的分壓力測量。

　　這套質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)裝置的測量范圍相當(dāng)大，真空度從10³ ～ 10^-5 Pa 都可以準(zhǔn)確的測量，不確定度約3%。但缺點(diǎn)也是很明顯，第一這套系統(tǒng)只能測量一些已知光譜的氣體分壓力，比如一氧化碳、二氧化碳和水，對(duì)于其他的氣體則無法測量。第二在氣體和激光相互作用的校準(zhǔn)室的兩個(gè)反射球面很難制造。第三兩個(gè)鏡片之間的距離要求很高，設(shè)計(jì)難度較大。第四實(shí)驗(yàn)場所的要求高，實(shí)驗(yàn)場所不能有震動(dòng)。第五在進(jìn)行分壓力測量時(shí)要受到總壓力大小的影響。