一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的測試結果

2017-06-13 李凱 鋼研納克檢測技術有限公司

　　以四極桿質譜儀真空測量及控制系統(tǒng)應用在鋼研納克檢測技術有限公司的PlasmaMS 300 儀器為例。在儀器不同的工作狀態(tài)時，對接口單元、透鏡單元和四極桿單元的真空進行了測量，軟件界面如圖8 和圖9 所示。

一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的測試結果

圖8 真空待機狀態(tài)下各部分真空顯示

　　圖8 為儀器真空待機狀態(tài)時，接口單元、透鏡單元和四極桿單元的真空值顯示。

一種四極桿質譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的測試結果

圖9 真空就緒狀態(tài)下各部分真空顯示

　　圖9 為真空就緒狀態(tài)時，接口單元、透鏡單元和四極桿單元的真空值顯示。其中a 部分為儀器工作狀態(tài)，b 部分為真空系統(tǒng)的真空值。