真空計校方法準(zhǔn)概述
真空計校準(zhǔn)是真空測量的基礎(chǔ)，是研究和發(fā)展真空測量的有力工具。它不但能使已有的相對真空計統(tǒng)一在可靠的標(biāo)準(zhǔn)之下，而且還可對發(fā)展中的真空計進(jìn)行性能的研究。
所謂“真空計校準(zhǔn)”就是對相對真空計進(jìn)行“刻度”。真空計刻度是在一定條件下對一定種類氣體進(jìn)行的，從而得到校準(zhǔn)系數(shù)或刻度曲線。因此氣體種類的改變或工作條件的變化，原校準(zhǔn)曲線就不能使用，必須重新進(jìn)行校準(zhǔn)。同一臺測量儀器，更換規(guī)管時校準(zhǔn)曲線也會發(fā)生變化。由此觀之，對相對真空計校準(zhǔn)是非常必要的，又要定期進(jìn)行，否則會產(chǎn)生超過允許的測量誤差。
校準(zhǔn)是對真空計整體而言，既包括所謂的一次儀表的真空規(guī)管，又包括所謂的二次儀表的電子線路。通常是二者合在一起進(jìn)行校準(zhǔn)，也可以分別對真空計規(guī)管和電子線路進(jìn)行校準(zhǔn)，而后者是較為理想的。
真空計校準(zhǔn)的前提是必須有標(biāo)準(zhǔn)真空計和校準(zhǔn)系統(tǒng)，并通過一定方法進(jìn)行。
真空標(biāo)準(zhǔn)有絕對真空計、標(biāo)準(zhǔn)相對真空計(或副標(biāo)準(zhǔn)真空計)和絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。所有絕對真空計均可作為真空標(biāo)準(zhǔn)。而以絕對真空計為基準(zhǔn)，將經(jīng)過壓力衰減后精確計算出的再生低壓力作為標(biāo)準(zhǔn)的真空計校準(zhǔn)系統(tǒng)稱為絕對校準(zhǔn)系統(tǒng)。
如膨脹法校準(zhǔn)系統(tǒng)應(yīng)用靜力熱平衡，其理論基礎(chǔ)為理想氣體的玻意耳定律，把U型管壓力計校準(zhǔn)下限延伸至高真空(10-4Pa)。穩(wěn)定性和精度高的真空計，經(jīng)過校準(zhǔn)之后，可作為次級標(biāo)準(zhǔn)，對工作真空計進(jìn)行校準(zhǔn)，稱這種真空計為副標(biāo)準(zhǔn)真空計。
在計量學(xué)中，所謂標(biāo)準(zhǔn)是按精度等級排列的一個體系。國家技術(shù)監(jiān)督局批準(zhǔn)并于1990年5月1日實施“真空計量器具檢定系統(tǒng)"(JJG2022—89)。根據(jù)當(dāng)前真空技術(shù)發(fā)展水平，真空獲得和真空測量范圍，已從大氣壓(105Pa)至極高真空(< lO-10Pa)。但工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中，實際廣泛應(yīng)用的壓力范圍為10-8～105Pa。
為了保證該范圍內(nèi)真空度量值的準(zhǔn)確一致，制定了檢定系統(tǒng)，進(jìn)行真空度量值傳遞，檢定各級真空計時器具。該檢定系統(tǒng)主要適用于lO-8～lO5Pa范圍內(nèi)，計量、科研和工業(yè)部門使用的真空標(biāo)準(zhǔn)裝置和真空計的檢定。
圖28：真空計量器具檢定框圖
圖28示出真空計量器具檢定框圖。
