真空閥門的作用與類型

2014-10-10 郭方準 實用真空技術

  真空閥門主要用來切斷或連通管路氣流,以及調節(jié)氣流量的大小。

  常用真空閥門的密封部有橡膠墊圈密封結構和金屬墊圈密封結構。橡膠墊圈密封結構是利用閥板與閥座壓緊橡膠墊圈,依靠橡膠的彈性變形來實現的密封。金屬墊圈密封結構是依靠軟金屬受壓產生塑性變形而達到密封目的。橡膠墊圈密封結構一般用于中低真空領域;金屬墊圈密封結構一般用于高真空和超高真空領域。

  真空閥門的主要性能參數是導通率、漏氣率、開關動作的可靠性和準確性,以及閥門的開閉時間。閥門按照驅動形式分為手動和自動兩種。自動閥門以壓縮空氣驅動為主,一部分小型閥門通過電磁鐵來驅動。真空系統(tǒng)中常用的閥門大體有4種形式,即角閥閘板閥、微調閥、放氣閥。另外,在氣路中常用到針閥球閥。各種真空閥門根據應用的真空領域和使用目的而選定。