閘板閥的工作原理及結(jié)構(gòu)示意圖

2014-10-10 郭方準 實用真空技術(shù)

　　閘板閥中的密封面，相對于氣體流路的垂直方向運動而實現(xiàn)氣流封止，其構(gòu)造類似于水庫的閘門，故稱閘板閥(圖1)。由于密封面為平面，為承受大氣壓強，整體構(gòu)造比較厚重，體積也比較大。閘板閥內(nèi)部的滑動部分通過焊接波紋管實現(xiàn)超高真空中的直線驅(qū)動，密封多采用氟膠圈。而閘板閥本體的密封，考慮到高溫烘烤，使用金屬(In)絲密封。

閘板閥的示意圖

圖1 閘板閥的示意圖

　　考慮到閘板閥兩側(cè)的壓強差，閘板閥的安裝有方向性，即密封面要朝向較高真空一側(cè)。正規(guī)的閘板閥，在較高真空面通常會做一個三角形標志。

　　真空腔體的連接，或者腔體和排氣泵(分子泵、離子泵)的連接，多使用閘板閥。